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MEMS是一種將微電與機械工程融合到一起的工業技術，MEMS的發展涉及并影響著很多領域的科學研究與技術進步，包括電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等。通常，它的操作尺度在微米級別。

MEMS由尺寸為1－100微米的部件組成，一般MEMS設備的尺寸通常在20微米到一毫米之間。類似手機卡有Micro也有Nano，也有比MEMS更微型的機電系統，它的操作尺度在納米級別。這種與MEMS類似的技術，被稱為NEMS（nanoelectromechanical systems，納機電系統）。

MEMS的內部通常包含一個，以及若干獲取外界信息的微型傳感器。也因為操作尺度小，比大型電子、機械系統更容易受環境影響，MEMS在設計時需要考慮靜電荷和磁矩等環境電磁作用，以及表面張力和粘度等流體動力學的影響。

MEMS產業得以繁榮發展，離不開半導體產業加工技術的長足進步。

「MEMS傳感器」是采用微電子和微機械加工技術生產出來的新型傳感器。得益于在微米尺寸工作的特性，MEMS可以完成一些傳統機械傳感器所不能實現的功能。這也成就了MEMS傳感器相對于傳統傳感器的一些優勢，例如：體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、成本低、適于批量化生產、易于集成等。

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